Возможность работы по кремнию?

[max11-07 0]

Добрый день.

Не подскажете ли, можно ли электроэрозией работать по кремнию?

Есть необходимость.

Спасибо.

[механик 39]

Добрый день.

Не подскажете ли, можно ли электроэрозией работать по кремнию?

Есть необходимость.

Спасибо.

А что делать? Резать или прошивать?

[max11-07 0]

А что делать? Резать или прошивать?

Нужно создать определенный рельеф на кремниевой подложке. Размеры - от десятков микрон до десятков мм. Важна гладкость.

[механик 39]

Нужно создать определенный рельеф на кремниевой подложке. Размеры - от десятков микрон до десятков мм. Важна гладкость.

Широкий разброс! Получить такой проблематично, даже наверное не реально. Рельеф на кремнии можно создать используя ультразвуковую обработку. Там нет факторов связанных с проводимостью материала. Кремний, в нормальном виде, т.е. без легирования примесями, материал с низкой электропроводностью. Поэтому электрическая система электроэрозионной установки не сможет стабилизировать процесс обработки. Я так думаю. Микрорельеф на кремнии получают травлением, а макро ("десятки мм") можно получить мехобработкой.

Опять же получить размеры в "одном флаконе" микроны-десятки мм невозможно т.к. технологии разные.

Хотя можно сначала сделать "десятки мм" мехобработкой(или УЗ обработкой), затем создать маску для травлени и получить "десятки микрон". Вот только как создать такую маску? Хотя и маску можно создать с помощью какой либо объемной литографией.

Технология сложная и самое главное не "коленочная".

Это конечно мое личное мнение.

А размеры только в плане или и глубину затрагивают?

[max11-07 0]

Широкий разброс! Получить такой проблематично, даже наверное не реально. Рельеф на кремнии можно создать используя ультразвуковую обработку. Там нет факторов связанных с проводимостью материала. Кремний, в нормальном виде, т.е. без легирования примесями, материал с низкой электропроводностью. Поэтому электрическая система электроэрозионной установки не сможет стабилизировать процесс обработки. Я так думаю. Микрорельеф на кремнии получают травлением, а макро ("десятки мм") можно получить мехобработкой.

Опять же получить размеры в "одном флаконе" микроны-десятки мм невозможно т.к. технологии разные.

Хотя можно сначала сделать "десятки мм" мехобработкой(или УЗ обработкой), затем создать маску для травлени и получить "десятки микрон". Вот только как создать такую маску? Хотя и маску можно создать с помощью какой либо объемной литографией.

Технология сложная и самое главное не "коленочная".

Это конечно мое личное мнение.

А размеры только в плане или и глубину затрагивают?

Возможно, я не точно выразился. Нужно "не в одном флаконе", а либо/либо. Речь идет о массивах одинаковых элементов (выпуклые полусферы и др. профили). То есть затрагивают глубину. И еще достаточно высокие требования по шероховатости, т. к. объекты предназначены для оптики. В принципе выгладить можно, наверное, изотропным травителем.

Речь идет не о "коленочной" технологии. Сейчас ищутся принципиальные возможности. О литографии, естественно, тоже думал, для десятков-сотен микрон возможно и подойдет, а вот больше - вряд ли.

А можно подробнее про ультразвук?

[механик 39]

Напоминает прошивную электроэрозию. Делается электрод нужной формы. Устанавливается в УЗ установку в зону обработки подается образив и вперед. Обработка идет за счет ударов частиц образива о поверхность детали. Примерно так.Подробнее можно в инете найти.

[BSV1 1 724]

Рассмотрите вариант плазмохимического травления.

[max11-07 0]

Спасибо,

Значит принципиальная возможность подобной обработки есть.

[BSV1 1 724]

Есть. Но легкой победы по вашим задачам не будет.

[max11-07 0]

Есть. Но легкой победы по вашим задачам не будет.

На легкую и не надеюсь.

Может ли кто-то посоветовать, к кому можно обратиться в СПб?

[BSV1 1 724]

Я думаю, что искать надо не по географическому признаку, а по имеющемуся практическому опыту. Поищите, например, фирмы, занимающиеся разработкой и выпуском соответствующего оборудования. Причем те, которые разрабатывают оборудование под конкретные задачи заказчика. Как правило, такие фирмы разрабатывают и соответсвующую технологию.

[MFS 248]

Может ли кто-то посоветовать, к кому можно обратиться в СПб?

Я бы не надеялся на Спб. Ищите вообще по стране и за рубежом, м.б. у производителей электроники есть такое оборудование. Таковые у нас вроде бы еще водятся в Зеленограде. Вы, кстати, рассматривали лазерную гравировку? Это ближе всего к теме. Еще ближе, пожалуй, обработка пучком электронов - там возможности фокусировки еще выше. Но где это искать - я без идей.

Не исключено, что придется делать свою установку. Серьезное дело, словом.

[BSV1 1 724]

Может ли кто-то посоветовать, к кому можно обратиться в СПб?

Спросите в ФТИ им. А.Ф.Иоффе. Вроде бы была у них такая установка.

[max11-07 0]

Спросите в ФТИ им. А.Ф.Иоффе. Вроде бы была у них такая установка.

Э-э...

10 лет работал в ФТИ. Но не представляю, у кого такое... Впрочем, поищем.

Разработчики - это, например, Sodick?

Технологию ставить не обязательно (это наверное дорого). Можно было бы договориться о выполнении заказов.

[BSV1 1 724]

Разработчики - это, например, Sodick?

Технологию ставить не обязательно (это наверное дорого). Можно было бы договориться о выполнении заказов.

Надо искать среди разработчиков оборудования для микроэлектроники. MFS подсказал вам один населенный пункт (если ориентироваться на отечественное).

Технологию все равно придется ставить. Даже если договориться о выполнении заказов. Кроме того возможно придется проектировать и изготавливать оснастку. А может и всю установку. Особенно, если речь "идет не о "коленочной" технологии". В любом случае это будет не дешево.

[max11-07 0]

Ок, спасибо, принял к сведению.

Буду благодарен за любые дальнейшие комментарии.

[механик 39]

Ваша задача мне что то смутно напоминает :=))!. Топология у вас случайно не с двух сторон пластины?

[max11-07 0]

Ваша задача мне что то смутно напоминает :=))!. Топология у вас случайно не с двух сторон пластины?

Нет:)

что именно?

[BSV1 1 724]

Ок, спасибо, принял к сведению.

Буду благодарен за любые дальнейшие комментарии.

Да вроде бы больше пока добавить нечего. Вам теперь надо предметно разговаривать с технологами, хорошо знающими ПХТ.

[andrey98 0]

Да вроде бы больше пока добавить нечего. Вам теперь надо предметно разговаривать с технологами, хорошо знающими ПХТ.

У меня немного другая задача - на поверхности легированного кремния сделать сетку каналов глубиной приблизительно 1.5-2 мм и шириной 1.5-3мм.

Что лучше использовать? высоких требований к гладкости каналов нет.